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    以三丁基磷及三甲基硼成長 矽薄膜摻雜層及其光電性質的研究
    • 材料科學與工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 賴宜呈 指導教授: 洪儒生
    • 本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統,成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池,分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料,成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜,並探討其光電性質。 在成長…
    • 點閱:316下載:0
    • 全文公開日期 2013/08/05 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以射頻電漿輔助化學氣相沉積法製備 P型矽薄膜及其光電性質之研究
    • 化學工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 朱炳勳 指導教授: 洪儒生
    • 本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物,使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜,並分析其結構及光電性質,期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…
    • 點閱:302下載:0
    • 全文公開日期 2014/07/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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